【手机中国往事】9月15日,无需手机中国留意到 ,光刻国科天眼查App展现 ,机中技公经恳上海创消新技术睁开有限公司恳求的司已“5纳米芯片制作的直接蚀刻措施”专利宣告 。摘要展现,求制该缔造波及芯片妄想及制作,作专妄想是芯片:按5nm蚀刻线宽妄想芯片邦畿,妄想蚀刻掩模版后,无需用激光直写光刻机刻出蚀刻掩模版;晶圆豫备好后将蚀刻掩模版紧靠晶圆上概况 ,光刻国科用等离子体妨碍干法蚀刻,机中技公经恳蚀刻停止后移去蚀刻掩模版,司已清洁晶圆,求制妨碍后续老例的作专芯片制作步骤。这项缔造的芯片走光在于,不用EUV光刻机或者DUV光刻机 ,不需要光刻历程,直接蚀刻就能制作5纳米芯片。
天眼查展现,上海创消新技术睁开有限公司建树于2019年3月,法定代表酬谢刘明革 ,注册老本50万国夷易近币